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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0329025 (2006-01-10) |
등록번호 | US7972974 (2011-06-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 164 |
Electronic apparatus and methods of forming the electronic apparatus include a gallium lanthanide oxide film for use in a variety of electronic systems. The gallium lanthanide oxide film may be structured as one or more monolayers. The gallium lanthanide oxide film may be formed using atomic layer d
What is claimed is: 1. A method comprising:forming multiple gallium lanthanide oxide films in a nanolaminate structure, at least some gallium lanthanide oxide films being separated from each other by gallium oxide or lanthanide oxide layers, on a substrate, including forming each gallium lanthanide
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