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Zinc oxide based transparent electric conductor, sputtering target for forming of the conductor and process for producing the target 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01B-001/08
출원번호 US-0307380 (2007-05-23)
등록번호 US8007693 (2011-08-15)
우선권정보 JP-2006-006-227720(2006-08-24)
국제출원번호 PCT/JP2007/060487 (2007-05-23)
§371/§102 date 20090105 (20090105)
국제공개번호 WO08/023482 (2008-02-28)
발명자 / 주소
  • Ikisawa, Masakatsu
  • Yahagi, Masataka
출원인 / 주소
  • JX Nippon Mining & Metals Corporation
대리인 / 주소
    Howson & Howson LLP
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 9

초록

Provided is a zinc oxide transparent electric conductor having zinc oxide (ZnO) as its principal component, containing an element to become an n-type dopant to zinc oxide, containing metal M in which P(P=(G+H mix)/RT, wherein G is the Gibbs free energy at temperature T of the metal, H mix is the mix

대표청구항

The invention claimed is: 1. A zinc oxide transparent electric conductor having zinc oxide (ZnO) as its principal component, containing an element to become an n-type dopant to zinc oxide, containing metal M in which P(P=(ΔG0+ΔHx(M))/RT, wherein ΔG0 is the standard free energy change of redox reacti

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Fukatani, Juichi; Hatta, Bungo; Yamamoto, Tetsuya, Gallium containing zinc oxide.
  2. Osada, Kozo, Gallium oxide-zinc oxide sputtering target, method of forming transparent conductive film, and transparent conductive film.
  3. Kuwano, Katsuo; Takami, Hideo, Optical transparent film and sputtering target for forming optical transparent film.
  4. Yahagi,Masataka; Takami,Hideo, Sputtering target containing zinc sulfide as major component, optical recording medium on which phase change optical disk protective film containing zinc sulfide as major component is formed by using the target, and method for manufacturing the sputtering target.
  5. Hosono, Hideo; Ueda, Kazushige; Yahagi, Masataka; Takami, Hideo, Sputtering target, thin film for optical information recording medium and process for producing the same.
  6. Hosono, Hideo; Ueda, Kazushige; Yahagi, Masataka; Takami, Hideo, Sputtering target, thin film for optical information recording medium and process for producing the same.
  7. Yamamoto, Tetsuya; Nakahara, Ken, Transparent conductive film of zinc oxide.
  8. Hagiwara Masahiro (Omiya JPX) Nishihara Akira (Omiya JPX), Zinc oxide powder having high dispersibility.
  9. Ikisawa, Masakatsu; Yahagi, Masataka, Zinc oxide-based transparent conductor and sputtering target for forming the transparent conductor.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Yamaguchi, Yohei; Kakuta, Koji, Oxide sintered compact and sputtering target formed from said oxide sintered compact.
  2. Yamaguchi, Yohei; Kurihara, Toshiya; Kakuta, Koji, Oxide sintered compact and sputtering target formed from said oxide sintered compact.
  3. Ikisawa, Masakatsu; Yahagi, Masataka; Osada, Kozo; Kakeno, Takashi; Takami, Hideo, Oxide sintered compact, its production method, and raw material powder for producing oxide sintered compact.
  4. Nara, Atsushi; Seki, Hideto, Oxide sintered compact, oxide sputtering target, and oxide thin film.
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