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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0934248 (2001-08-21) |
등록번호 | US8016277 (2011-08-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 150 |
Described are flexure-based high precision positioning stages. The stages are constrained to motion along each axis by a system of symmetrical flexure linkages. The linkages may be formed of link coupled by flexure joints. Magnetic linear servomotors may provide motive force for the stages. In some
What is claimed is: 1. An apparatus for positioning of an object in at least one plane comprising:a holding member configured to hold the object to be positioned; anda positioning system including a linkage coupled to the holding member, defining a first joint thereat, with said first joint being co
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