최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0965442 (2007-12-27) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 21 |
A pressure gauge may be coupled to a supply line which carries liquid from a bottle to either one or more mixing vessels and/or one or more reactors in a combinatorial processing tool. A control device may monitor the pressure measured by the pressure gauge, and the control device may be configured
What is claimed is: 1. A method for maintaining a predetermined fluid flow-rate, comprising:providing a pressure to a first vessel from a pressure source, wherein the first vessel contains a fluid for use in a semiconductor manufacturing process;flowing the fluid from the first vessel through a firs
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.