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특허 상세정보

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Maintaining flow rate of a fluid

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F17D-003/00   
미국특허분류(USC) 137/012; 137/206; 137/209; 137/263
출원번호 US-0965442 (2007-12-27)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 21
초록
▼

A pressure gauge may be coupled to a supply line which carries liquid from a bottle to either one or more mixing vessels and/or one or more reactors in a combinatorial processing tool. A control device may monitor the pressure measured by the pressure gauge, and the control device may be configured to change the pressure supplied to the bottle based on a comparison of the measured pressure to a pre-determined pressure value. The control device may adjust the pressure provided to the bottle using a pressure regulator coupled to the pressure source. By cha...

대표
청구항
▼

What is claimed is: 1. A method for maintaining a predetermined fluid flow-rate, comprising:providing a pressure to a first vessel from a pressure source, wherein the first vessel contains a fluid for use in a semiconductor manufacturing process;flowing the fluid from the first vessel through a first supply line, into a manifold coupling a plurality of secondary supply lines to the first supply line, and into at least one second vessel coupled to at least one of the secondary supply lines;flowing the fluid from the at least one second vessel into a combi...

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Johnson, Keith; Ingles, Don. Air oiler filler. USP2004056736155.
  2. Fuerst, Otto; Jansen, Paul; Jaeck, Thomas. Analysis device for analyzing samples. USP2003096623697.
  3. O\Dougherty Kevin T. (Minneapolis MN) Sandquist Alden W. (Watertown MN). Apparatus for blending and controlling the concentration of a liquid chemical in a diluent liquid. USP1996065522660.
  4. Blatt, Christopher S.; Pearce, Richard H.; Williams, Graham; Wentworth, III, Edward H.. Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals. USP2003086604555.
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  6. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H. Chemical refill system. USP1989084859375.
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  9. Wang, Luping; Tabler, Terry A.; Dietz, James A.. Fluid distribution system and process, and semiconductor fabrication facility utilizing same. USP2003056561213.
  10. Haines Lawrence A. (Mapleton UT) Messano Edward A. (Provo UT) Beatty Kenneth L. (Spanish Fork UT) Gooch Robert E. (Provo UT) Glenn Alan H. (Salem UT) O\Hara Dennis E. (Mapleton UT). Integrated process control valve. USP1993105251148.
  11. Siegele, Stephen H.; Noah, Craig M.; Gregg, John N.. Level control systems for high purity chemical delivery systems. USP2003106629627.
  12. Takimoto Hiroaki (Yokohama JPX) Miyajiri Tetsuo (Yokohama JPX) Turita Tamio (Yokohama JPX) Fujikawa Masanori (Yokohama JPX). Liquid replenishing apparatus. USP1986114622988.
  13. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX). Manifold systems for high purity chemical delivery systems. USP1997015590695.
  14. Kanno Kiyomitsu,JPX ; Haga Toshio,JPX. Method for dividing and charging of non-azeotropic mixed refrigerant. USP1999126000230.
  15. McMillin John R. (Maplewood MN). Method of and apparatus for dispensing a high volumetric flow rate of carbonated beverage, having partial reversal of a. USP1980084216879.
  16. Susko, Kenneth. On-board fuel inerting system. USP2003106634598.
  17. Sehyun Shin ; Young Cho ; Kenneth Kensey ; William N. Hogenauer ; Sangho Kim. Single riser/single capillary viscometer using mass detection or column height detection. USP2002116484565.
  18. Juhola Bruce M. (Atherton CA) Raphael Ian P. (Los Gatos CA). System and method for dispensing liquid from storage containers. USP1997065636762.
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  20. Forshey,Randy G.; Pozniak,Peter M.. Systems and methods for measurement of low liquid flow rates. USP2006026997053.
  21. Partus Fred P. (Cobb County GA). Vapor delivery system and method of maintaining a constant level of liquid therein. USP1980114235829.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 6

  1. Henry, James W.; Vakil, Mohammad. Adjustable orifice valve and calibration method for ammonia applicator system. USP2016109468940.
  2. Henry, James W.; Vakil, Mohammad. Ammonia applicator system. USP2018049949428.
  3. Galland, Régis. Device for connecting a storage vat to a feed and process for managing such connection. USP2016069359185.
  4. Kahlon, Satbir; Lowe, Jeffrey Chih-Hou; Yu, Wen-Guang. High dilution ratio by successively preparing and diluting chemicals. USP2015129223319.
  5. Bu, Bin; Li, Tailiang; Chen, Yimin; Xiao, Lei. Method and system for controlling automatic quantitative fluid supply. USP2017099766631.
  6. Henry, James W.; Vakil, Mohammad. Method of calibrating an applicator. USP20180710028430.

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