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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0153957 (2005-06-15) |
등록번호 | US8043441 (2011-10-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 100 |
A method for cleaning a substrate is provided. In this method, a flow of non-Newtonian fluid is provided where at least a portion of the flow exhibits plug flow. To remove particles from a surface of the substrate, the surface of the substrate is placed in contact with the portion of the flow that e
What is claimed is: 1. A method for cleaning a substrate, comprising:filling a chamber with a non-Newtonian fluid, the chamber having an input end and an output end;introducing the substrate into the chamber at the input end and suspending the substrate suspended in the non-Newtonian fluid;closing a
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