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Precision pump with multiple heads 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04B-043/067
출원번호 US-0938408 (2007-11-12)
등록번호 US8047815 (2011-10-17)
발명자 / 주소
  • Savard, Raymond T.
  • Gray, Greg
  • Laessle, John
출원인 / 주소
  • Integrated Designs L.P.
대리인 / 주소
    Ceasar, Rivise, Bernstein, Cohen & Pokotilow, Ltd.
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 28

초록

A pump for use in handling one or more different process fluids includes a plurality of pumping chambers having a process fluid inlet and a process fluid outlet, process fluid outlet coupled to a process fluid valve on each pumping chamber for selectively preventing and allowing the flow of process

대표청구항

What is claimed is: 1. A pump for use in handling a plurality of different process fluids, comprising:a plurality of pumping chambers, each pumping chamber adapted to independently pump one of the plurality of different process fluids, each pumping chamber including at least one process fluid inlet

이 특허에 인용된 특허 (28)

  1. Gibson Gregory M., Apparatus and method for pumping high viscosity fluid.
  2. Kuehne Eric R. (Cupertino CA) Hester Donald D. (Milpitas CA), Bellows-type dispensing pump.
  3. Akihiro Fujimoto JP; Kazuo Sakamoto JP; Nobukazu Ishizaka JP; Izumi Hasegawa JP, Coating apparatus.
  4. Katsuyama Kazuo (Toyota JPX) Ohhashi Yutaka (Aichi JPX) Fukuta Kenji (Toyota JPX), Coating material supply device.
  5. Katsuyama Kazuo (Toyota JPX) Ohhashi Yutaka (Aichi JPX) Fukuta Kenji (Toyota JPX), Coating material supply device.
  6. Gardos,Ivan, Constant pressure fluid-dispensing pumping system and method.
  7. Simmons, Walter J., Constant-flow-rate dual-unit pump.
  8. Matthew G. Garbett ; Robert D. Tolles ; John S. Hearne ; Manoocher Birang, Delivery of polishing agents in a wafer processing system.
  9. Reynolds Steven M. (Mansfield OH), Diaphragm pump.
  10. Pitzer Jan E. ; Lehrke Kenneth E., Diaphragm pump plural component dispensing system with integrator.
  11. Mekias, Kader, Dispensing apparatus.
  12. Bailey David C. ; Martin Carl A., Dual stage pump and filter system with control valve between pump stages.
  13. Whitehead John C. (Davis CA), Fluid driven recipricating apparatus.
  14. Ruttenberg, Alexander; Zur, Alexander, Fluid driven reciprocating pump capable of either single-action or double-action operation.
  15. Reynolds Steven M., Fluid powered diaphragm pump.
  16. Bowers William F. (Topsfield MA) Hunt Stephen G. (N. Billerica MA), Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes.
  17. Kuismanen, Esa, Method and arrangement for pumping a material using a dual chamber pump system.
  18. Kuo, Chang; Kashkoush, Ismail; Yialamas, Nick; Skibinski, Gregory, Method and system for chemical injection in silicon wafer processing.
  19. Reynolds Steven M. (Mansfield OH), Modular double-diaphragm pump.
  20. Frey Max ; Frey Marc A., Oscillating dual bladder balanced pressure proportioning pump system.
  21. Cote Daniel A. ; Hofmeister Christopher A. ; Prabharkar Jayanth, Precision dispensing pump and method of dispensing.
  22. Bailey David C. (San Jose CA) Martin Carl A. (San Jose CA), Precision liquid dispenser.
  23. Hayes William F. (Gloucester CAX) Tanney ; deceased John W. (Nepean CAX by Dorothy Tanney ; legal representative), Primary fluid actuated, secondary fluid propelling system.
  24. Polaschegg Hans-Dietrich (Oberursel DEX), Pump arrangement for medical purposes.
  25. Zagars,Raymond A.; McLoughlin,Robert F., Pump controller for precision pumping apparatus.
  26. Theilmeier Thomas, Reciprocating pump valve.
  27. Pierrat Michel A., Zero leakage valveless positive fluid displacement device.
  28. Pierrat, Michel A., Zero leakage valveless positive fluid displacement device.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Manzarek, Donovan K.; Vines, John C.; Laessle, John, Apparatus and method for the remote monitoring, viewing and control of a semiconductor process tool.
  2. Laessle, John; Vines, John; Kidd, Brian, Precision pump having multiple heads and using an actuation fluid to pump one or more different process fluids.
  3. Laessle, John; Vines, John; Kidd, Brian, Precision pump with multiple heads.
  4. Vines, John C.; Laessle, John, Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method.
  5. Vines, John C.; Laessle, John, Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method using a gas removal reservoir having an internal partition.
  6. Vines, John C.; Laessle, John, Pump system and method having a quick change motor drive.
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