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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0411995 (2009-03-26) |
등록번호 | US8049187 (2011-10-17) |
우선권정보 | JP-2008-2008-086554(2008-03-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 0 |
The present invention provides a charged particle beam irradiating apparatus capable of irradiating a charged particle beam using both a wobbler method and a scanning method. A charged particle beam irradiating apparatus includes: scanning electromagnets that scan a charged particle beam; a wobbler
What is claimed is: 1. A charged particle beam irradiating apparatus for irradiating a charged particle beam to an object, comprising:a scanning electromagnet that scans the charged particle beam;a wobbler irradiation unit that irradiates the charged particle beam using a wobbler method;a scanning i
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