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특허 상세정보

Flexible display substrates

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H01L-021/30   
미국특허분류(USC) 438/458; 438/149; 438/459; 438/479; 257/E21568; 257/E2157
출원번호 US-0643501 (2009-12-21)
등록번호 US8053331 (2011-10-25)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Bruce P., Watson
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 8
초록

Processes for transferring a semiconductor material to a polymer substrate to provide flexible semiconductor material include implanting ions to a predetermined depth in a semiconductor substrate, heat-treating the ion-implanted semiconductor substrate for a period of time and at a temperature effective to cause defect formation and enlargement of the implanted ion defect, adhering the ion-implanted, heat-treated substrate to a polymer substrate, and separating a semiconductor film such as a single crystal silicon film from the semiconductor substrate; a...

대표
청구항

The invention claimed is: 1. A process for transferring a semiconductor film to a polymer substrate to make a flexible semiconductor material comprising the steps of:implanting ions to a predetermined depth in at least one semiconductor substrate to create a separation zone within the at least one semiconductor substrate, the separation zone defining a first part and a second part of the at least one semiconductor substrate;heat-treating the at least one ion-implanted semiconductor substrate for a period of time and at a temperature effective to cause de...