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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053880 (2008-03-24) |
등록번호 | US8062432 (2011-11-07) |
우선권정보 | JP-2007-007-092380(2007-03-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 11 |
A cleaning method for a turbo molecular pump, which enables the exhausting ability of the turbo molecular pump to be restored without bringing about a decrease in the productivity of a substrate processing apparatus. A vaporizing gas that vaporizes foreign matter attached to an internal surface of t
What is claimed is: 1. A cleaning method for a turbo molecular pump connected to a processing chamber of a substrate processing apparatus, comprising:a vaporizing gas supplying step of supplying toward foreign matter attached to an internal surface of the turbo molecular pump a vaporizing gas includ
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