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Method of forming a sputtering target 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0073245 (2011-03-28)
등록번호 US8076174 (2011-11-29)
발명자 / 주소
  • Juliano, Daniel R.
  • Mathias, Deborah
  • Mackie, Neil M.
출원인 / 주소
  • MiaSole
대리인 / 주소
    The Marbury Law Group, PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 52

초록 ▼

A sputtering target, including a sputtering layer and a support structure. The sputtering layer includes an alkali-containing transition metal. The support structure includes a second material that does not negatively impact the performance of a copper indium selenide (CIS) based semiconductor absor

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. A method of forming a sputtering target, comprising:forming a sputtering layer comprising a first material which comprises an alkali-containing transition metal directly on a second material of a support structure,wherein the second material does not negatively impact a perfor

이 특허에 인용된 특허 (52)

  1. Fabick,Leon B.; Yehle,Alan W., Apparatus and method of production of thin film photovoltaic modules.
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  2. Stanbery,Billy J., Apparatus for synthesis of layers, coatings or films.
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  3. Gronet,Chris M, Bifacial elongated solar cell devices.
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  4. Tenhover Michael A. (4 Buttonwood La. East Amherst NY 14051) Ruppel Irving R. (996 Colvin Blvd. Kenmore NY 14217), Ceramic substrates and magnetic data storage components prepared therefrom.
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  5. Stanbery, Billy J., Chemical synthesis of layers, coatings or films using surfactants.
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  6. Sager,Brian M.; Yu,Dong; Robinson,Matthew R., Coated nanoparticles and quantum dots for solution-based fabrication of photovoltaic cells.
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  7. Sager,Brian M.; Roscheisen,Martin R.; Petritsch,Klaus, Combinatorial fabrication and high-throughput screening of optoelectronic devices.
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  8. Sager,Brian M., Device based on coated nanoporous structure.
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  9. Robert G. Wendt ; Gregory M. Hanket ; Robert W. Birkmire ; T. W. Fraser Russell ; Scott Wiedeman, Fabrication of thin-film, flexible photovoltaic module.
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  11. Roscheisen,Martin R.; Pichler,Karl, High throughput surface treatment on coiled flexible substrates.
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  12. Gronet,Chris M., Interconnects for solar cell devices.
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  13. Lippens Paul,BEX, Laminated metalstructure.
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  14. Stanbery, Billy J., Layers, coatings or films synthesized using precursor layer exerted pressure containment.
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  15. McKelvey Harold E. (Plymouth MI), Magnetron cathode sputtering apparatus.
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  17. Shiozaki,Satoshi, Method of fabricating a compound semiconductor thin-layer solar cell.
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  18. Bodeg.ang.rd Marika,SEX ; Hedstrom Jonas,SEX ; Stolt Lars,SEX, Method of manufacturing thin-film solar cells.
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  21. Roscheisen,Martin R.; Sager,Brian M.; Fidanza,Jacqueline; Petritsch,Klaus; Miller,Gregory A.; Yu,Dong, Molding technique for fabrication of optoelectronic devices.
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  22. Buller,Benyamin; Beck,Markus E., Monolithic integration of cylindrical solar cells.
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  24. Sager, Brian M.; Roscheisen, Martin R., Nano-architected/assembled solar electricity cell.
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  26. Sager,Brian M.; Roscheisen,Martin R.; Petritsch,Klaus; Smestad,Greg; Fidanza,Jacqueline; Miller,Gregory A.; Yu,Dong, Optoelectronic device and fabrication method.
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  28. Sager, Brian M.; Roscheisen, Martin R., Photovoltaic thin-film cell produced from metallic blend using high-temperature printing.
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  29. Roscheisen,Martin R.; Sager,Brian M., Polycrystalline optoelectronic devices based on templating technique.
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  30. Nagao, Takeshi; Yabata, Atsushi, Self-aligned contact process for semiconductor device.
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  31. Inaba Atsushi,JPX ; Ishikawa Yamato,JPX, Solar cell.
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  32. Yamagishi Hideo,JPX ; Ohkatsu Toshihide,JPX ; Kondo Masataka,JPX, Solar cell module.
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  33. Wada, Kenji; Nasuno, Yoshiyuki; Kondo, Michio; Matsuda, Akihisa, Solar cell substrate, thin-film solar cell, and multi-junction thin-film solar cell.
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  34. Probst Volker (Munich DEX) Rimmasch Joerk (Munich DEX) Harms Hauke (Salem DEX), Solar cell with chalcopyrite absorber layer.
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  35. Bollman,Brent J.; Petritsch,Klaus; Robinson,Matthew R., Solvent vapor infiltration of organic materials into nanostructures.
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  36. Lehan John ; Byorum Henry ; Hill Russell J. ; Rough J. Kirkwood, Sputtering system using cylindrical rotating magnetron electrically powered using alternating current.
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  37. Mashima Munenori (Sanda JPX) Tamura Jun (Sanda JPX), Sputtering target and method for manufacturing same.
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  38. Stanbery,Billy J., Synthesis of layers, coatings or films using collection layer.
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  39. Stanbery, Billy J., Synthesis of layers, coatings or films using electrostatic fields.
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  40. Billy J. Stanbery, Synthesis of layers, coatings or films using precursor layer exerted pressure containment.
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  41. Stanbery, Billy J., Synthesis of layers, coatings or films using templates.
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  42. Basol,Bulent M., Technique and apparatus for depositing thin layers of semiconductors for solar cell fabrication.
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  43. Tuttle,John R., Thermal process for creation of an in-situ junction layer in CIGS.
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  45. Yamamoto, Hiroshi; Wada, Kenji, Thin-film solar cell and its manufacturing method.
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  46. Ouchida, Takashi; Sannomiya, Hitoshi, Thin-film solar cell and manufacture method therefor.
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  47. Ouchida, Takashi; Kishimoto, Katsushi; Fujioka, Yasushi, Thin-film solar cell module.
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  49. Fukuyo, Hideaki; Shindo, Yuichiro; Takahashi, Hideyuki, Titanium target for sputtering.
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  50. Pichler, Karl, Transparent electrode, optoelectronic apparatus and devices.
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  51. Miller,Gregory A., Uniform thermal processing by internal impedance heating of elongated substrates.
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  52. Hirayama Naoto (Osaka JPX) Nagayama Hirotsugu (Osaka JPX) Takigawa Akio (Osaka JPX) Sasaki Kiyotaka (Osaka JPX) Tsutsuki Misao (Toyota JPX) Otsuka Yasuhiro (Aichi JPX), Water-repellant glass products and process for the production thereof.
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이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Nashiki, Tomotake; Sakata, Yoshimasa; Sugawara, Hideo; Yagura, Kenkichi; Hamada, Akira; Ito, Yoshihisa; Ishibashi, Kuniaki, Vacuum film formation method and laminate obtained by the method.
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