[특허]Method of preparing components, prepared component, lithographic apparatus and device manufacturing method

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Method of preparing components, prepared component, lithographic apparatus and device manufacturing method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G03B-027/52
출원번호	US-0840508 (2004-05-07)
등록번호	US8077287 (2011-11-29)
우선권정보	EP-2003-3252894(2003-05-09)
발명자 / 주소	Dams, Johannes Adrianus Antonius Theodorus Kroon, Mark Voorma, Harm-Jan Spee, Carolus Ida Maria Antonius
출원인 / 주소	ASML Netherlands B.V.
대리인 / 주소	Pillsbury Winthrop Shaw Pittman LLP
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13

초록 ▼

A method of preparing components for use in a vacuum chamber of a lithographic apparatus is disclosed. The method includes coating the component with a non-metallic material. The method may further include treating the coating so as to harden the coating. Preferably, the coating material is a hydrogen silsesquioxane (HSQ), which may be applied via spraying, brushing, or spinning and can be treated by heating or by irradiation with an electron beam. The resulting components strongly reduce outgassing of water and hydrocarbons when subjected to a vacuum environment.

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. A method of preparing a component of a lithographic projection apparatus to reduce outgassing inside the lithographic projection apparatus, said component comprising at least one of a coil, a magnet, or a yoke of an actuator, said method comprising:coating a surface of said component with a polymer; andcoating the polymer with a non-metallic material, wherein said material is glass or a glass-like material, by applying a fluid composition of said material to the polymer.

이 특허에 인용된 특허 (13)

Tran Khanh Q., Borderless vias with HSQ gap filled metal patterns having high etching resistance.
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Hazelton Andrew J. ; Eaton John K., Cooling system for a linear or planar motor.
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Camilletti Robert C. (Midland MI) Saadat Irfan (Santa Clara CA) Thomas Michael (Milpitas CA), Curing hydrogen silsesquioxane resin with an electron beam.
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Takei Seiji (Kanagawa JPX), Direct current linear motor and a direct drive unit on which it is equipped.
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Hazelton Andrew J., Driving motors attached to a stage that are magnetically coupled through a chamber.
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McBride Richard (Trenton NJ) Wong Ching-Ping (Lawrenceville NJ), Encapsulation techniques which include forming a thin glass layer onto a polymer layer.
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Tichenor Daniel A. ; Kubiak Glenn D. ; Haney Steven J. ; Sweeney Donald W., Extreme ultraviolet lithography machine.
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Koorneef,Lucas; van Aert,Joroen; van Deuren,Frans; Broers,Sanders, Hermetically sealed elements of an actuator.
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Mine Katsutoshi (Chiba JPX) Nakamura Takashi (Chiba JPX) Sasaki Motoshi (Chiba JPX), Method for the formation of a silicon oxide film.
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Goo Ju-seon,KRX ; Choi Ji-hyun,KRX ; Hwang Byung-keun,KRX ; Lee Hae-jeong,KRX, Method of fabricating and curing spin-on-glass layers by electron beam irradiation.
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Garza Mario (Sunnyvale CA) Chao Keith (San Jose CA), Process of curing hydrogen silsesquioxane coating to form silicon oxide layer.
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Kishkovich Oleg P. ; Kinkead Devon A., Protection of semiconductor fabrication and similar sensitive processes.
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Yerman Alexander J. (Scotia NY), Semiconductor element having a polymeric protective coating and glass coating overlay.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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