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Board storage container and check valve

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/30
출원번호 US-0439651 (2007-07-23)
등록번호 US-8091592 (2012-01-10)
우선권정보 JP-2006-239241 (2006-09-04)
국제출원번호 PCT/JP2007/064441 (2007-07-23)
§371/§102 date 20090302 (20090302)
국제공개번호 WO2008/029557 (2008-03-13)
발명자 / 주소
  • Sato, Yoshinori
출원인 / 주소
  • Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Osha • Liang LLP
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 12

초록

A substrate container has a container main body to contain a substrate and a check valve which has a cylindrical housing and a valve disc installed in the housing and controls gas flowing from and to the interior and the exterior of the container main body, and is formed by inserting the housing int

대표청구항

1. A substrate container comprising a container main body to contain a substrate and a check valve which has a cylindrical housing and a valve disc installed in the housing and controls gas flowing from and to the interior and the exterior of the container main body; andbeing formed by inserting the

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Wu, Tzong-Ming; Su, Wu-Chen; Tsai, Sheng-Fu, Air vent plug arrangement having a mounting ring, a plug body, and a plug cap for securing the plug body to the mounting ring.
  2. Miyajima Toshihiko,JPX, Clean box, clean transfer method and apparatus therefor.
  3. Reynolds Gerald D. ; Gallagher Gary M. ; Burns John ; Smith Mark V., Filter cartridge assembly for a gas purging system.
  4. Burns,John; Fuller,Matthew A.; King,Jeffery J.; Forbes,Martin L.; Smith,Mark V., Front opening substrate container with bottom plate.
  5. Fosnight William J., Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges.
  6. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  7. Hutto Joe D. (Indianapolis IN), Reversible bottom valve cartridge with an orienting mechanism.
  8. Krishnamoorthy,Pk Haridass; Verzyl,Steven H.; Benjey,Robert P., Siphonable check valve and method of making same.
  9. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki, Substrate storage container.
  10. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki, Substrate storage container.
  11. Sumi,Atsushi; Toda,Junya; Nakayama,Takayuki, Substrate storage container.
  12. Bonora Anthony C. ; Wartenbergh Robert P. ; Gomes Christopher, Two stage valve for charging and/or vacuum relief of pods.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Lo, Hsaio-Chia, Gas charging check valve and precision container apparatus with gas charging check valve.
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