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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0284840 (2008-09-25) |
등록번호 | US-8123900 (2012-02-28) |
우선권정보 | KR-10-2007-0102976 (2007-10-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 5 |
Provided are a substrate supporting unit and a substrate treating apparatus using the substrate supporting unit. The substrate supporting unit comprises a base plate and a supporting portion formed on the base plate. The supporting portion comprises two supporting rods and a plurality of supporting
1. A substrate supporting unit, comprising: a base plate; anda supporting portion that is formed on the base plate and supports a plurality of substrates arranged in a first direction,wherein the supporting portion comprises: two supporting rods that extend in the first direction and are separated f
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