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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0454837 (2009-05-22) |
등록번호 | US-8153987 (2012-04-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 110 |
A calibration pad having multiple calibration sites is provided. A particular calibration site may be utilized until that particular site has been determined to have become unacceptable for further use, for example from contamination, in which case the calibration processes may then move to use a di
1. A method of evaluating an optical metrology tool, comprising: utilizing an optical tool characterization pad for use in assisting in the evaluation of an optical metrology tool;providing multiple characterization sites of a similar characterization structure upon the characterization pad; anddesi
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