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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0565621 (2004-07-15) |
등록번호 | US-8193069 (2012-06-05) |
우선권정보 | FR-03 08865 (2003-07-21) |
국제출원번호 | PCT/FR2004/001858 (2004-07-15) |
§371/§102 date | 20060725 (20060725) |
국제공개번호 | WO2005/019094 (2005-03-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 147 |
The invention relates to a method of producing a stacked structure. The inventive method comprises the following steps consisting in: a) using a first plate (1) which is, for example, made from silicon, and a second plate (5) which is also, for example, made from silicon, such that at least one of s
1. A method of fabricating a stacked structure comprising the following sequential steps: a) selecting a first plate and a second plate such that a surface portion of the first plate has a roughness such that the surface portion is incapable of sticking to a surface of the second plate,b) producing
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