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Instrumented platform for vibration sensitive equipment 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16M-001/00
출원번호 US-0986538 (2007-11-21)
등록번호 US-8196891 (2012-06-12)
발명자 / 주소
  • Ryaboy, Vyacheslav M.
  • Booth, Warren
출원인 / 주소
  • Newport Corporation
대리인 / 주소
    Swienton, Brian F.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 12

초록

A platform that includes a vibration sensor located within an inner core of a table. The table may have a first plate that supports a vibration-sensitive payload. The first plate may be separated from a second plate by the inner core. The sensor can be located within the core directly below the devi

대표청구항

1. A platform assembly that supports a vibration-sensitive payload, comprising: a tabletop having a first surface coupled to the vibration-sensitive payload, a second surface, and an inner core located between said first and second surfaces;a damper located within the inner core, the damper includin

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Geohegan ; Jr. ; Kenneth P. ; Collins ; Christopher R. ; Bawroski ; Geo rge ; Steiner ; George H., Active vibration damper with electrodynamic sensor and drive units.
  2. Teel, Andrew Richard; Zaccarian, Luca; Marcinkowski, Jacek Justyn, Active vibration isolation systems with nonlinear compensation to account for actuator saturation.
  3. Wakui Shinji,JPX, Active vibration isolator, exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method.
  4. Fuller, Christopher R.; Cambou, Pierre E., Active/passive distributed absorber for vibration and sound radiation control.
  5. Ohsaki Tatsuya,JPX, Anti-vibration apparatus and exposure apparatus.
  6. Laughlin Darren (Albuquerque NM), Linear actuator control system for platform stabilization.
  7. Hobbs Gregg K., Modular vibration system.
  8. Nolan Douglas C. (Syracuse NY) Hubbard Joseph T. (Skaneateles NY), Random vibration generator.
  9. Hobbs Gregg K. (Westminster CO), Screening apparatus for imparting multimodal and multi-axial vibrations to a device.
  10. Nye Theodore W. ; Baker Jeffrey L., Structure having low acoustically-induced vibration response.
  11. Watanabe Katsuhide,JPX ; Kanemitsu Yoichi,JPX ; Haga Takahide,JPX ; Suzuki Mamoru,JPX, Vibration damping apparatus.
  12. Felkins Charles F. ; Gilles Gregory M. ; Botruff Dwayne D. ; Langfeldt Gregory J., Vibration table with uniform distribution.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Logan, James D; VanThof, Blake; Castonguay, Kevin; Malagodi, Garrett Richard, Alerting servers using vibrational signals.
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