$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
  • G06F-019/00
출원번호 US-0724194 (2010-03-15)
등록번호 US-8197172 (2012-06-12)
발명자 / 주소
  • Doherty, Brian J.
  • Mariano, Thomas R.
  • Sullivan, Robert P.
출원인 / 주소
  • Murata Machinery, Ltd.
대리인 / 주소
    Fish & Richardson P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 20

초록

A highly efficient Automated Material Handling System (AMHS) that allows an overhead hoist transport vehicle to load and unload Work-In-Process (WIP) parts directly to/from one or more WIP storage units included in the system. The AMHS includes an overhead hoist transport subsystem and at least one

대표청구항

1. An automated material handling system comprising: an overhead hoist transport subsystem comprising at least one overhead hoist and at least one overhead hoist transport vehicle, the at least one overhead hoist comprising a translating stage and a gripper portion coupled to the translating stage,

이 특허에 인용된 특허 (20)

  1. Trammell, Harold L., Assembly for transporting material.
  2. Boje John F. ; Brown Samuel R. ; Markin Rodney S., Automated laboratory specimen organizer and storage unit.
  3. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  4. Doherty,Brian J.; Mariano,Thomas R.; Sullivan,Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  5. Schmitz Joachim (Brhl DEX) Wagner Franz (Bobenheim-Roxheim DEX) Siegler Adrian (Rulzheim DEX), Circulating rack.
  6. Fosnight William J., Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system.
  7. Lin, Li-Ren; Chang, Cheng-Chang, Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker.
  8. Sackett, James G.; Weldon, David E.; Anderson, H. Alexander, Local store for a wafer processing station.
  9. Katzenschwanz Norbert (Neuburg DEX), Mechanical inventory storage and delivery cabinet.
  10. Raymond Chen TW, Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system.
  11. Kawano Hitoshi,JPX ; Murata Masanao,JPX ; Nakagawa Susumu,JPX ; Inagaki Motonori,JPX ; Takaoka Toshiyuki,JPX, Overhead hoist transfer.
  12. Nakao,Takashi; Tanaka,Makoto, Overhead travelling carriage system.
  13. Murata, Masanao, Overhead-traveling carrying apparatus.
  14. Chang, Cheng-Chang; Huang, Chien-Jung, Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist.
  15. Bonora, Anthony C.; Martin, Raymond S.; Netsch, Robert; Oen, Joshua T.; Mosier, Terry; Fosnight, William J., SMIF pod storage, delivery and retrieval system.
  16. Iwasaki Junji,JPX ; Katsube Junichi,JPX ; Itami Yasushi,JPX, Semiconductor wafer cassette transportation apparatus and stocker used therein.
  17. Murata, Masanao, Suspended type transporting carriage and transporting system.
  18. Fukushima Masazumi,JPX, Tracking cart system.
  19. Hirata, Yasunari; Hirakawa, Takenori; Yamamoto, Akemichi, Work conveying system.
  20. Shiwaku Tamotsu,JPX, Work transport system.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  2. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  3. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  4. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
  5. Bonora, Anthony C.; Gould, Richard H.; Krolak, Michael, Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems.
  6. Widmann, Amir; Adel, Michael; Sekula, Pati, Material handling with dedicated automated material handling system.
  7. Brain, Michael D., System and method for high throughput work-in-process buffer.
  8. Dong, Xiang, System for loading and unloading cassette and method for loading and unloading cassette.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트