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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0539862 (2009-08-12) |
등록번호 | US-8202429 (2012-06-19) |
우선권정보 | JP-2008-335317 (2008-12-26); JP-2009-147163 (2009-06-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 21 |
Foreign substances which are not inherently contained in a polishing slurry are selectively separated and removed from a polishing slurry component comprised of abrasives, a solvent and an additive which are inherently contained in the polishing slurry.
1. A method for recovering a used slurry from a polishing process, comprising the steps of: passing a polishing slurry through a microfiltration membrane or an ultrafiltration membrane to remove foreign substances which are not inherently contained in the polishing slurry in a first concentrate liqu
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