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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053859 (2008-03-24) |
등록번호 | US-8215510 (2012-07-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 6 |
A photomask storage apparatus including a bottom plate and top lid is provided. The photomask storage apparatus includes poly-ether ketone (PEEK). A fastening element is configured to couple the lid to the bottom plate. A retaining element is secured to the lid to prevent vibrations of a photomask.
1. An photomask storage apparatus, comprising: a top component and a bottom component including poly-ether ether ketone (PEEK);at least one retaining element coupled to the top component;a seal liner disposed on the bottom component, wherein the seal liner provides an interface between bottom compon
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