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특허 상세정보

Sealing apparatus with interlocking air inflation device for wafer carrier

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65D-085/00   
미국특허분류(USC) 206/710; 206/711
출원번호 US-0076417 (2011-03-30)
등록번호 US-8235218 (2012-08-07)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 8
초록

The present invention relates a sealing apparatus with interlocking air inflation device for wafer carrier and a sealing method thereof, wherein the sealing apparatus is disposed between a wafer container and a cover of a wafer carrier, used for sealing the cover and the wafer container when the cover is closed to the wafer container. The sealing apparatus comprises: at least one latch set, at least one interlocked cam, an air inflation sealing member, and at least one air intake/outtake valve, wherein the interlocked cam is adopted for connecting an int...

대표
청구항

1. A sealing apparatus with an interlocking air inflation device, disposed in a wafer carrier having a wafer container and a cover, wherein the cover is used for closing and opening the wafer container, and the cover and the wafer container can be fastened together through a fastener mechanism, wherein an opening is formed in one side of the wafer container, such that the sealing apparatus is disposed between the opening and the cover for sealing the wafer container and the cover, the sealing apparatus comprises: at least one latch set, being disposed be...