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Deposition chamber cover ring 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • 23-04
출원번호 US-0411713 (2012-01-25)
등록번호 US-D665491 (2012-08-14)
발명자 / 주소
  • Goel, Ashish
  • Subramani, Anantha K.
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 38  인용 특허 : 21

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

The ornamental design for a deposition chamber cover ring, as shown and described.

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Norman, Jr.,Robert L., Adjustable suspension assembly for a collimating lattice.
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  2. Clements, Jack T, Cartridge filter gasket.
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  3. Guo Xin Sheng ; Bhan Mohan ; Jones Justin ; Lei Lawrence ; Ellwanger Russell ; Chang Mei ; Sinha Ashok ; Tepman Avi, Chemical vapor deposition hardware and process.
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  4. Haggkvist,Alf, Duct seal.
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  5. Dordi,Yezdi; Olgado,Donald J.; Morad,Ratson; Hey,Peter; Denome,Mark; Sugarman,Michael; Lloyd, legal representative,Anna Marie; Stevens,Joseph; Marohl,Dan; Shin,Ho Seon; Ravinovich,Eugene; Cheung,Robin; Sinha,Ashok K.; Tepman,Avi; Carl,Dan; Birkmaier,George; Lloyd,Mark, Electro-chemical deposition system.
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  6. Graybeal, K. Michael, Floor drain.
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  7. Fields, Brian, Full aperture open beverage can.
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  8. Woods Weston W. (Houston TX), Gasket seal.
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  9. Doba, Shigeki, Inner wall shield for a process chamber for manufacturing semiconductors.
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  10. Blease, Kevin J.; Weston, Richard R., Loop seal for knife gate valve.
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  11. Drewery, John Stephen; Reynolds, Glyn; Russell, Derrek Andrew; Brcka, Jozef; Vukovic, Mirko; Grapperhaus, Michael James; Cerio, Jr., Frank Michael; Gittleman, Bruce David, Method and apparatus for ionized physical vapor deposition.
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  12. Miller, Keith A., Notched deposition ring.
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  13. Hixson, Robert B.; Monfort, Jason L.; Groshong, Gary W.; Gonzalez, Jose Luis, Physical vapor deposition apparatus with modified shutter disk and cover ring.
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  14. Tilden David J. (5412 Ygnacio Dr. Sacramento CA 95842), Pouring cover for paint cans.
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  15. Rosenstein Michael (Sunnyvale CA) Grunes Howard (Santa Cruz CA) Brodsky Stephen Bruce (Fishkill NY), Screwless shield assembly for vacuum processing chambers.
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  16. Mathers Norman Ian,AUX, Seal.
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  17. Hixson, Robert B.; Groshong, Gary William; Jordan, David Bruce; Gonzalez, Jose Luis, Shield assembly for substrate processing chamber.
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  18. Lawson, John; Irwin, Dale; Chervenak, Steve, Single piece pod shield for vertical plenum wafer processing machine.
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  19. Tepman Avi (21610 Rainbow Dr. Cupertino CA 95014), Sputtering target.
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  20. Cogley,Paul Andrew; Romeo,Derek Joseph; Brooks,Joseph R., Susceptor ring.
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  21. Eidelberg Jonah (Huntington Station NY) Mooney Thomas (Mt. Sinai NY) Bauer Richard A. (Etters PA), Water resistant gasket for conduits and the like.
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이 특허를 인용한 특허 (38)

  1. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  2. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  3. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  4. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  5. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  6. Lee, Dae-Kyun, Air conditioner.
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  7. Shin, Young-Sun; Park, Jin-Sun; Kim, Tae-Han, Air conditioner.
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  8. Petrillo, Matthew Joseph; Rane, Mark, Beverage holder.
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  9. Petrillo, Matthew Joseph; Rane, Mark, Beverage holder.
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  10. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan, Beverage holder.
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  11. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan, Beverage holder.
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  12. Akita, Miho, Camera.
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  13. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  14. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  15. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  16. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  17. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  18. Torrison, Miriam; Cunningham, John; DeJong, Scott, Carbonated beverage cap liner.
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  19. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan; Nichols, Steve, Cup.
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  20. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan; Nichols, Steve, Cup.
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  21. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan; Nichols, Steve Charles, Cup.
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  22. Seiders, Roy Joseph; Tolman, John Alan; Nichols, Steve Charles, Cup.
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  23. Goel, Ashish; Subramani, Anantha, Edge ring for a deposition chamber.
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  24. Rivera, Richard, Fire burner.
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  25. Rivera, Richard, Fire burner.
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  26. Rivera, Richard, Fire burner.
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  27. Lah, Michael C.; Walters, Kyle A., Gas burner.
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  28. Lah, Michael C.; Walters, Kyle A., Gas burner.
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  29. Andersen, Barbara, Glass cover.
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  30. Hojmose, Glenn, Heat detector.
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  31. Harada, Koichiro; Yasui, Takeshi, Heat reflector for substrate processing apparatus.
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  32. Harada, Koichiro; Yasui, Takeshi, Heat reflector for substrate processing apparatus.
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  33. Balderas, Jonathan Tovar; Contreras, Francisco Javier Soria; Fajardo, Victor Ruelas; Galindo, Victor Gerardo Caloca; Jiménez, Ana Katia Silva, High efficiency high power inner flame burner.
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  34. Seo, Dong Jin; Oh, Yong Ju; Kim, Min Seok; Lee, Jeong Won, Humidifier support.
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  35. Kastner, Martin, Induction burner.
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  36. Harrity, Miguel Francisco Escobar, Ring collar.
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  37. Soria, Daniel, Valve sleeve.
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  38. Broadbent, Samuel Mark; Tattersfield, Andrew John Roy; Dempsey, Mark Lee, Vehicle dashboard disk to receive a device mounting apparatus.
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