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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0249956 (2008-10-12) |
등록번호 | US-8322045 (2012-12-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 262 |
In one aspect, a substrate processing apparatus is provided. The apparatus comprises a mechanism for forming a meniscus on a surface of a substrate by moving the substrate through a fluid; an air knife apparatus positioned to apply an air knife to shorten the meniscus formed on the surface of the su
1. A substrate processing apparatus, comprising: a mechanism for forming a meniscus on a surface of a substrate by moving the substrate through a fluid;an air knife apparatus positioned to apply an air knife to shorten the meniscus formed on the surface of the substrate, wherein the air knife appara
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