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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0912613 (2006-04-25) |
등록번호 | US-8322571 (2012-12-04) |
국제출원번호 | PCT/US2006/015964 (2006-04-25) |
§371/§102 date | 20090903 (20090903) |
국제공개번호 | WO2006/116572 (2006-11-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 27 |
Fluid supply systems for storage and dispensing of chemical reagents and compositions, e.g., high purity liquid reagents and chemical mechanical polishing compositions used to manufacture microelectronic device products, having capability for detection of an empty or near-empty condition when the co
1. A liner package dispensing system comprising: a vessel having an interior volume;a liner in said interior volume, arranged to contain a liquid medium subject to being overlaid by head space gas;a reservoir arranged to receive liquid medium from the liner to define a liquid medium level in or abov
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