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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0778989 (2010-05-12) |
등록번호 | US-8329557 (2012-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 240 |
Embodiments of the present invention relate to the use of a particle accelerator beam to form thin films of material from a bulk substrate. In particular embodiments, a bulk substrate having a top surface is exposed to a beam of accelerated particles. Then, a thin film of material is separated from
1. A method comprising: providing a substrate having a surface region and a thickness;generating a beam of accelerated particles;scanning the beam in two dimensions over the surface region to form a cleave region beneath the surface region and defining a thickness of material to be detached;during t
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