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특허 상세정보

Out-of-plane deflection MEMS actuator for projectile control surfaces

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F42B-015/01    H01L-029/84    G01L-009/00   
미국특허분류(USC) 244/003.27; 257/415; 257/419
출원번호 US-0729089 (2007-03-26)
등록번호 US-8405012 (2013-03-26)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Zimmerman, Fredric J.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 10
초록

A MEMS type actuator includes a substrate defining a plane; a micro bellows disposed on the substrate and operable to expand in a direction out of a substrate plane, the substrate having an opening therein for fluid flow to the micro bellows; and a ramp disposed above the micro bellows. In a collapsed position of the micro bellows, the ramp is substantially parallel to the plane of the substrate and, in expanded positions of the micro bellows, the micro bellows applies a force to the ramp thereby causing rotation of the ramp in a direction out of the sub...

대표
청구항

1. A MEMS apparatus, comprising: a substrate defining a plane;a micro bellows being disposed on the substrate and operable for expanding in a direction out of the substrate plane toward a rotatable ramp using a fluid flow, the substrate includes an opening therein for providing the fluid flow to the micro bellows; andthe rotatable ramp disposed above the micro bellows, wherein, in a collapsed position of the micro bellows, the rotatable ramp is substantially parallel to the plane of the substrate, and wherein, in expanded positions of the micro bellows, ...