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특허 상세정보

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Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H05B-041/14   
미국특허분류(USC) 315/241P;
출원번호 US-0253399 (2008-10-17)
등록번호 US-8410712 (2013-04-02)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Ng, Antony P.
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 15
초록
▼

A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of pulses generated by a flash lamp on the strobe head. The conveyor control module along with the strobe control module provide real-time synchronization between the repetition rate of the set of pulses and the speed at which the substrate is being moved under ...

대표
청구항
▼

1. A curing apparatus comprising: a conveyor system for transporting a layer of thin film mounted on a low-temperature substrate;a strobe head having a flash lamp for providing a plurality of electromagnetic pulses to said layer of thin film;a strobe control module for controlling power, duration and repetition rate of said plurality of electromagnetic pulses generated by said flash lamp; anda conveyor control module, in conjunction with said strobe control module, for synchronizing in real-time said repetition rate of said plurality of electromagnetic p...

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Schafheutle Markus A.,ATX ; Voelker Achim,DEX ; Wehner Susanne,DEX ; Klein Klausjoerg,DEX. Cationic polyurethane-based polymer dispersions. USP1999075929161.
  2. Jersey,Steven T.; Chung,William W.; Broyles,Larry D.; Henry,Michael D.; Smith,Michael R.. Comestible fluid rack and rail apparatus and method. USP2007067225936.
  3. Govek,Jeffrey P.; Person,Steven M.; Pizzillo,David M.; Jones,Phillip E.; Aylor,John E.; Douglas,David D.. Computer to plate curing system. USP2007067225560.
  4. Schroder, Kurt A.; McCool, Steve; Hamill, Denny; Wilson, Dennis; Furlan, Wayne; Walter, Kevin; Willauer, Darrin; Martin, Karl. Electrical, plating and catalytic uses of metal nanomaterial compositions. USP2010107820097.
  5. Deardurff Larrie A. ; Austin Mary E. ; Lauw Hiang P.. Ink-jet inks for improved image quality. USP1998085788754.
  6. Wang,Sean Xiaolu; Li,Qun; Li,Qingxiong. Laser curing apparatus with real-time monitoring and control. USP2007077245371.
  7. Van Alstyne David C.. Method and apparatus for photopyrolitically removing a contaminant. USP2001026195505.
  8. Sjogren, Christer A.; Hyne, Jeremy A.. Method and apparatus for utilizing a shadow effect for counting newspapers, magazines, books, printed products, signatures and other like printed matter. USP2005046876716.
  9. Grubbs Michael R. ; Kenny Garry R. ; Gaddis Paul G.. Paper sorting system. USP2001066250472.
  10. Maze,Etienne Georges; Lelong,Gilbert Louis; Dorsett,Terry E.; Guhde,Donald J.; Nishikawa,Toshio. Particulate metal alloy coating for providing corrosion protection. USP2006077078076.
  11. Kumar,Satyendra; Kumar,Devendra. Plasma generation and processing with multiple radiation sources. USP2007067227097.
  12. Ott,Ronald D.; Blue,Craig A.; Dudney,Nancy J.; Harper,David C.. Pulse thermal processing of functional materials using directed plasma arc. USP2007057220936.
  13. Schroder, Kurt A.; Jackson, Doug K.. Radial pulsed arc discharge gun for synthesizing nanopowders. USP2004086777639.
  14. Sakaki Mamoru (Hiratsuka JPX) Arai Ryuichi (Sagamihara JPX) Akiya Takashi (Yokohama JPX) Toganoh Shigeo (Tokyo JPX) Higuma Masahiko (Tokyo JPX) Eto Naonobu (Yamato JPX) Mouri Hidemasa (Yokohama JPX) . Recording medium with non-porous ink-receiving layer. USP1989104877680.
  15. Bubley Henry J. (Deerfield IL). UV curing apparatus. USP1987034646446.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 8

  1. Burrows, Keith James; Myli, Kari B.. Flash-treated indium tin oxide coatings, production methods, and insulating glass unit transparent conductive coating technology. USP20180810060180.
  2. Burrows, Keith James; Myli, Kari B.. Insulating glass unit transparent conductive coating technology. USP20180610000965.
  3. Burrows, Keith James; Myli, Kari B.. Insulating glass unit transparent conductivity and low emissivity coating technology. USP20180610000411.
  4. Schroder, Kurt A; Martin, Karl M; Jackson, Doug K.; McCool, Steven C. Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds. USP2015089095874.
  5. Schroder, Kurt A; Martin, Karl M; Jackson, Doug K.; McCool, Steven C. Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds. USP2017059643208.
  6. Shroder, Kurt A.; Martin, Karl M.; Jackson, Doug K.; McCool, Steven C.. Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds. USP2014038674618.
  7. Almadhoun, Mahmoud N.; Odeh, Ihab N.; Khan, Mohd Adnan. Processing of thin film organic ferroelectric materials using pulsed electromagnetic radiation. USP20180710035922.
  8. Lowenthal, Mark D.; Youngbull, Tricia A.; Ray, William J.. Silicon microsphere fabrication. USP2015048999742.

IPC 상위 출원인