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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0914841 (2010-10-28) |
등록번호 | US-8413505 (2013-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
The present invention provides a temperature and humidity measuring and recording device deployed on substrate for measuring and recording temperature and humidity of the interior of any station for reticles and of any SMIF POD. The temperature and humidity measuring and recording device comprises a
1. A temperature and humidity measuring device deployed on substrate, comprising: a substrate, having a first surface and a second surface opposite to said first surface on another side of said substrate, a through hole penetrating said first surface and said second surface being further deployed on
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