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Recirculation high purity system for protecting optical modules or inspection system during storage, transport and shipping 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-046/00
출원번호 US-0160878 (2011-06-15)
등록번호 US-8414688 (2013-04-09)
발명자 / 주소
  • Delgado, Gildardo
  • Chilese, Frank
  • Brunner, Rudolf
출원인 / 주소
  • KLA-Tencor Corporation
대리인 / 주소
    Suiter Swantz pc llo
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 4

초록

A purging apparatus for a storage chamber is disclosed. The purging apparatus is configured for establishing a purge gas flow through the storage chamber. The purging apparatus may include a gas purifier and a particle filter. The gas purifier may provide a purge gas to the storage chamber. The purg

대표청구항

1. A purging apparatus for a cargo storage chamber, the purging apparatus configured for establishing a purge gas flow through the cargo storage chamber, the purging apparatus comprising: a gas purifier configured for providing a purge gas to the cargo storage chamber;a particle filter configured fo

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Yokogi Kazuo,JPX, Gas supply system equipped with cylinders.
  2. Spiegelman, Jeffrey J.; Alvarez, Jr., Daniel; Holmes, Russell J.; Tram, Allan, Method for the removal of airborne molecular contaminants using oxygen and/or water gas mixtures.
  3. Agrawal, Ravindra K., Method for treatment of process waters.
  4. Zimmerman, Timothy P., Mobile airborne contaminant control chamber.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Lowrance, Robert B.; Miller, Michael; Somekh, Sass; Madigan, Conor F.; Vronsky, Eliyahu; Birang, Manoocher, Apparatus and method for control of print gap.
  2. Lowrance, Robert B.; Miller, Michael; Somekh, Sass; Madigan, Conor; Vronsky, Eliyahu; Birang, Manoocher, Apparatus and method for control of print gap.
  3. Lowrance, Robert B.; Miller, Michael; Somekh, Sass; Madigan, Conor; Vronsky, Eliyahu; Birang, Manoocher, Apparatus and method for control of print gap.
  4. Madigan, Conor F.; Ko, Alexander Sou-Kang; Vronsky, Eliyahu, Environmentally controlled coating systems.
  5. Lowrance, Robert; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor; Ko, Alexander Sou-Kang, Face-down printing apparatus and method.
  6. Lowrance, Robert; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor; Ko, Alexander Sou-Kang, Face-down printing apparatus and method.
  7. Lowrance, Robert; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor; Ko, Alexander Sou-Kang, Face-down printing apparatus and method.
  8. Mauck, Justin; Ko, Alexander Sou-Kang; Vronsky, Eliyahu; Alderson, Shandon, Gas enclosure assembly and system.
  9. Mauck, Justin; Ko, Alexander Sou-Kang; Vronsky, Eliyahu; Alderson, Shandon, Gas enclosure assembly and system and related printing maintenance methods.
  10. Mauck, Justin; Ko, Alexander Sou-Kang; Vronsky, Eliyahu; Alderson, Shandon, Gas enclosure systems and methods utilizing an auxiliary enclosure.
  11. Mauck, Justin; Ko, Alexander Sou-Kang; Vronsky, Eliyahu; Alderson, Shandon; Stepanov, Alexey, Low particle gas enclosure systems and methods.
  12. Somekh, Sass; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor, Method and apparatus for load-locked printing.
  13. Somekh, Sass; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor, Method and apparatus for load-locked printing.
  14. Somekh, Sass; Vronsky, Eliyahu; Madigan, Conor F., Method and apparatus for load-locked printing.
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