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Method of ellipsometric reconnaissance 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01J-004/00
출원번호 US-0793860 (2010-06-04)
등록번호 US-8416409 (2013-04-09)
발명자 / 주소
  • Jones, Michael I.
출원인 / 주소
  • Lockheed Martin Corporation
대리인 / 주소
    Bracewell & Giuliani LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 30

초록

A method of obtaining information about a target by using an ellipsometric technique of illuminating the target with coherent light beams from moveable light sources and recording reflections from the target. By analyzing the reflections, the surface material refractive index or dielectric tensors m

대표청구항

1. A method of ellipsometric reconnaissance comprising: a. providing a first moveable object having a first light source and a second moveable object having a second light sourceb. illuminating a target with light from the first light source;c. illuminating the target with light from the second ligh

이 특허에 인용된 특허 (30)

  1. Williams, Darin S., Absolute time encoded semi-active laser designation.
  2. Johs Blaine D. ; Herzinger Craig M., Analysis of partially polarized electromagnetic radiation in ellipsometer and polarimeter systems.
  3. Smith Tennyson (Orem UT), Apparatus and process for performing ellipsometric measurements of surfaces.
  4. Sanjay-Gopal Sethumadavan ; Messner Dale A. ; Czarkowski Bernard J., Auto positioner.
  5. Belleveau Richard S., Automated lighting control system utilizing laser and non-laser light sources.
  6. David A. Boyd ; Ares J. Rosakis ; David M. Owen, Coherent gradient sensing ellipsometer.
  7. Krishnan,Shankar, Concurrent measurement and cleaning of thin films on silicon-on-insulator (SOI).
  8. Klaas Hemmes NL; Karl Richard Koops NL, Ellipsometer with two lasers.
  9. Stavely Donald J. ; Bloom Daniel M. ; Battles Amy E. ; Campbell David K. ; Herrera E. Oscar R., Film scanner with dust and scratch correction by use of dark-field illumination.
  10. Livingston Peter M., Laser along-body tracker comprising laser beam dithering.
  11. Arin Haldun (Moorpark CA) Murray Kenneth (Granada Hills CA), Magnetically coupled hard disk drive head positioner latch.
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  13. Yamada Takeo (Tokyo JPX) Kazama Akira (Tokyo JPX) Oshige Takahiko (Tokyo JPX), Measuring method for ellipsometric parameter and ellipsometer.
  14. Wang, Bu-Chin, Method and apparatus for three-dimensional surface scanning and measurement of a moving object.
  15. Xie,Tong; DePue,Marshall Thomas; Baney,Douglas M., Method and system for optically tracking a target using a triangulation technique.
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  17. Giakos,George, Multi-wavelength imaging system.
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  25. Miyazaki Hidenori (Takatsuki JPX) Kitajima Hiroshi (Kyoto JPX), Spatial filter type speed measuring apparatus.
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  27. Kanzaki, Toyoki, Spectroscopic ellipsometer with adjustable detection area.
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  30. Hardy Tyrone L. (Albuquerque NM) Brynildson Laura R. D. (Albuquerque NM), Three-dimensional beam localization apparatus for stereotactic diagnoses or surgery.
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