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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0198267 (2008-08-26) |
등록번호 | US-8418934 (2013-04-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 20 |
A micro-electromechanical (MEM) synthetic jet actuator includes a semiconductor substrate having a cavity extending therethrough, such that a first opening is formed in a first surface of the semiconductor substrate and such that a second opening is formed in a second surface of the semiconductor su
1. A micro-electromechanical (MEM) synthetic jet actuator comprising: a semiconductor substrate having a cavity extending therethrough such that a first opening is formed in a first surface of the semiconductor substrate and such that a second opening is formed in a second surface of the semiconduct
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