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Substrate container sealing via movable magnets 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-051/00
  • B65D-043/26
  • B65D-088/44
  • B60R-025/00
  • A47G-019/22
출원번호 US-0434330 (2009-05-01)
등록번호 US-8424703 (2013-04-23)
발명자 / 주소
  • Meulen, Peter van der
출원인 / 주소
  • Brooks Automation, Inc.
대리인 / 주소
    Perman & Green, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 26

초록

A system of moving magnets for sealing a container may include a plurality of moveable magnets disposed near a perimeter of a container door and a rotatable linkage hub positioned within the perimeter of the container door. In addition, the system may include a plurality of control linkages connecti

대표청구항

1. system for sealing a container, comprising: a plurality of moveable magnets disposed near a perimeter of a container door, at least one of the movable magnets having a mounting portion and an end portion disposed facing the container in both a sealed position and an open position;a linkage hub po

이 특허에 인용된 특허 (26)

  1. Davet Richard F. (Beachwood OH), Anti-theft finger ring display device.
  2. Choi, Jae-Wook; Kim, Young-Rok, Apparatus for manufacturing substrate.
  3. Masujima Sho,JPX ; Miyauchi Eisaku,JPX ; Miyajima Toshihiko,JPX ; Watanabe Hideaki,JPX, Clean transfer method and apparatus therefor.
  4. Laube David P., Container for transporting refurbished semiconductor processing equipment.
  5. Hansen Randall C. (Lake Forest IL) Miller Kenneth J. (Gurnee IL), Door fastening means.
  6. Wu, Tzong-Ming; Huang, Jen-Rong; Liang, Muh-Wang, Door for wafer container having rotatable cammed member and movable links.
  7. Ramamoorthy, Arun; Ma, Hsing-Chien (Andy); Lieberman, Barry R., Euv reticle carrier with removable pellicle.
  8. Heinz Focke DE; Jurgen Focke DE; Henry Buse DE, Flip-top box for cigarettes.
  9. Fan Horng-Kuang,TWX ; Lee Jyhjone,TWX ; Huang Gwo-Jou,TWX, Latch mechanism for wafer container.
  10. Van De Ven,Bastiaan Lambertus Wilhelmus Marinus; Ham,Erik Leonardus, Lithographic apparatus and device manufacturing method.
  11. Ham,Erik Leonardus; Heerens,Gert Jan; Lansbergen,Robert Gabri?l Maria; Meijer,Ellard Alexander; Meijer,Hendricus Johannes Maria; Meiling,Hans; Mertens,Bastiaan Matthias; Moors,Johannes Hubertus Jose, Lithographic apparatus and patterning device transport.
  12. Bahry Abraham (45 ; Sokolov St. Cholon ILX) Dolev Moshe (45 ; Sokolov St. Cholon ILX), Locking arrangement for doors and the like.
  13. Yukihiro Hyobu JP, Magnetic secured container closure with release by movement of magnetic member.
  14. Yoshitake Shusuke,JPX ; Tsukumo Yoshiaki,JPX ; Hirano Ryoichi,JPX ; Tojo Toru,JPX ; Tada Yoshiaki,JPX ; Kanda Makoto,JPX, Sample transferring method and sample transfer supporting apparatus.
  15. Parikh Mihir (San Jose CA) Bonora Anthony C. (Menlo Park CA), Sealable transportable container having a particle filtering system.
  16. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Rosenquist Frederick T. (Redwood City CA), Sealable transportable container having improved latch mechanism.
  17. Uyeda Tim M. (South San Gabriel CA), Security door locking mechanism.
  18. Southworth, Peter R.; Baxter, Gregory R., Semiconductor wafer transport system.
  19. Wu Hong-Jen,TWX ; Chen Taylor,TWX ; Lai Jack,TWX ; Chen I. I.,TWX, Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system.
  20. Wu H. J. (Hsin-chu TWX), Single semiconductor wafer transfer method and plural processing station manufacturing system.
  21. Hasegawa, Akihiro; Mimura, Hiroshi, Storage container.
  22. del Puerto,Santiago E.; DeMarco,Michael A.; Friedman,Glenn M.; Ivaldi,Jorge S.; McClay,James A., System and method for reticle protection and transport.
  23. del Puerto, Santiago; Loopstra, Erik R.; Massar, Andrew; Kish, Duane P.; Alikhan, Abdullah; Olson, Woodrow J.; Feroce, Jonathan H., System for using a two part cover for protecting a reticle.
  24. Yukihiro Hyobu JP, Thin-plate accommodating/transporting container.
  25. Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert (Plano TX) Hildenbrand Randall C. (Richardson TX), Vacuum processing system.
  26. Eggum, Shawn D., Wafer carrier door and latching mechanism with c-shaped cam follower.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Jacob, Christophe; Bouix, Herve, Magnetic closure system for a container with a wand-type applicator and wiper.
  2. Jacob, Christophe; Bouix, Herve, Screw-type closure systems with magnetic feature.
  3. Jacob, Christophe; Bouix, Herve, Screw-type container-closure systems with magnetic feature.
  4. Mazzocco, John J.; Merry, Nir, Substrate carrier door assemblies, substrate carriers, and methods including magnetic door seal.
  5. Kottenstette, Christopher J., Vessel locking system.
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