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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0030902 (2008-02-14) |
등록번호 | US-8434989 (2013-05-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 58 |
Modular wafer transport and handling facilities are combined in a variety of ways deliver greater levels of flexibility, utility, efficiency, and functionality in a vacuum semiconductor processing system. Various processing and other modules may be interconnected with tunnel-and-cart transportation
1. A batch processing system comprising: at least one front opening unified pod in atmosphere;a batch load lock adapted for concurrently handling multiple wafers, the load lock coupled to the atmosphere through a first isolation valve and coupled to a vacuum environment through a second isolation va
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