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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0792470 (2010-06-02) |
등록번호 | US-8448925 (2013-05-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 13 |
Devices, systems, and methods employed in wet cleaning semiconductor devices are provided. In particular, systems that can deliver deionized water with the desired concentration of CO2 and methods of generating deionized water with a desired concentration of CO2 for use in wet cleaning of semiconduc
1. A method for carbonation of deionized water comprising: supplying deionized water to a contactor;supplying carbon dioxide gas to the contactor;measuring, with at least one sensor, flow rate of the deionized water and temperature of the deionized water, wherein the at least one sensor is positione
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