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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0553982 (2012-07-20) |
등록번호 | US-8464695 (2013-06-18) |
우선권정보 | JP-2006-255109 (2006-09-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 9 |
A plasma equipment comprising a microwave oscillator for generating a predetermined microwave band, a microwave resonant cavity for allowing the predetermined microwave band to resonate, and microwave radiation means for radiating the microwave into the microwave resonant cavity, wherein the microwa
1. A plasma equipment comprising: a microwave oscillator for generating a predetermined microwave band;a microwave resonant cavity for allowing the predetermined microwave band to resonate;microwave radiation means for radiating the microwave into the microwave resonant cavity, wherein the microwave
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