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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0245280 (2011-09-26) |
등록번호 | US-8528581 (2013-09-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 11 |
A solenoid valve assembly capable of providing a continuous flow of pressurized inert gas to operate a process tool without interruption. The valve assembly comprises a manifold that is internally fluidly connected to each of the internal pressure ports, the internal actuator port, and the internal
1. A solenoid assembly for operating a plurality of pneumatic valves of a fluid delivery system and capable of supplying an uninterrupted flow of a fluid, the assembly comprising: a first means to supply a pressurized inert gas;a plurality of solenoid valves, wherein each solenoid valve is capable o
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