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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0073533 (2011-03-28) |
등록번호 | US-8556616 (2013-10-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 57 |
A nanoimprint lithography template including, inter alia, a body having first and second opposed sides with a first surface disposed on the first side, the second side having a recess disposed therein, the body having first and second regions with the second region surrounding the first region and t
1. A nanoimprint lithography system comprising: a template having first and second opposed sides with a first surface disposed on the first side, the second side having a recess disposed therein, the template having a first region and a second region having a perimeter, with the second region surrou
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