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Thermal sensor for semiconductor circuits 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01K-007/01
  • G01K-007/14
  • G01K-007/16
  • G01K-007/21
출원번호 US-0950508 (2010-11-19)
등록번호 US-8562210 (2013-10-22)
발명자 / 주소
  • Abadeer, Wagdi W.
  • Christiansen, Cathryn J.
  • Fifield, John A.
  • Ioannou, Dimitris P.
  • Lee, Tom C.
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Scully, Scott, Murphy & Presser, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 22

초록

A system and a method for measuring temperature within an operating circuit use a Wheatstone bridge within a temperature sensing circuit. One of the resistors in the Wheatstone bridge is a thermally sensitive resistive material layer within the operating circuit. The other three resistors are therma

대표청구항

1. A temperature sensing circuit for measuring temperature in-situ in an operating circuit comprising: a first resistor connected to a first node and to a second node;a second resistor connected to the second node and to a third node;a third resistor connected to the third node and to a fourth node;

이 특허에 인용된 특허 (22)

  1. Eryurek, Evren; Warrior, Jogesh, Auto correcting temperature transmitter with resistance based sensor.
  2. Sawtell Carl K. (San Jose CA) Dagan Marc E. (Mountain View CA) Bandy Frederic S. (Milpitas CA), Compact programmable temperature detector apparatus.
  3. Palazzetti Mario (Avigliana ITX) Salotti Gianfranco (Avigliana ITX) Mingrino Fabio (Turin ITX), Detector device for evaluating the thermal comfort conditions in an environment, for example, in the interior of a motor.
  4. Thorax Didier (Argenteuil FRX) Marotel Grard (Sartrouville FRX), Device for thermal regulation of an enclosure.
  5. Adams Robert P. (605 Hightree Road Santa Monica CA 90402), Electronic thermometer.
  6. Adlerstein,Michael G., Integrated thermal sensor for microwave transistors.
  7. Gianchandani, Yogesh B.; Li, Mo-Huang; Wu, Julius, Micromachined scanning thermal probe method and apparatus.
  8. Keil Gary D. (Elmwood IL) Supak Wayne A. (Washington IL) Tipton Sheryl A. (East Peoria IL), Quench system cooling effectiveness meter and method of operating same.
  9. Koizumi Ryoichi (Yokohama JPX) Watanabe Yasutomo (Hiratsuka JPX), Recording head which detects temperature of an element chip and corrects for variations in that detected temperature, an.
  10. Evren Eryurek ; Jogesh Warrior ; Andrew T. Patten, Resistance based process control device diagnostics.
  11. Evren Eryurek ; Steven R. Esboldt ; Gregory H. Rome, Resistance based process control device diagnostics.
  12. Leopold Hans (Sonnleitenweg 17 A-8043 Graz ATX) Stabinger Hans (Peterstalstrasse 156 A-8042 ATX) Schrcker Klaus P. (Graz ATX), Resistance ratio measurement utilizing measuring currents of opposite plural direction.
  13. Nanba, Hiromi; Minobe, Kenichi, Semiconductor device with temperature compensation circuit.
  14. Suzuki Naoshi,JPX, Semiconductor integrated circuit having a digital temperature sensor circuit.
  15. Wienand Karlheinz,DEX ; Muller Andreas,DEX, Sensor with temperature-dependent measuring resistor and its use for temperature measurement.
  16. Scott ; III Baker P. L. (Austin TX), Slew rate enhanced linear amplifier.
  17. Andeen Gerry B. (Menlo Park CA) Shrader Eric J. (Palo Alto CA) Kornbluh Roy D. (Redwood City CA), Slip sensing method and apparatus.
  18. Riddle, Alfred; Sproul, Anthony, System and method for temperature measurement.
  19. Jansen, Uwe, Temperature detection for a semiconductor component.
  20. Francis Gaylord L. (Califon NJ), Temperature sensor.
  21. Severson,John A., Thermal icing conditions detector.
  22. Avanzino, Steven C.; Singh, Bhanwar; Rangarajan, Bharath; Subramanian, Ramkumar, Wafer based temperature sensors for characterizing chemical mechanical polishing processes.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Millar, Huntly D.; Thornton, Richard T.; Pauly, Robert L., Methods, devices, and systems which determine a parameter value of an object or an environment from a voltage reading associated with a common mode signal of a balanced circuit.
  2. Meltzer, Joel D.; Titus, Albert H.; Neji, Bilel; Xu, Jing, Microfabricated calorimeter for RF power measurement.
  3. Meltzer, Joel D.; Titus, Albert H.; Neji, Bilel; Xu, Jing, Microfabricated calorimeter for RF power measurement.
  4. Meltzer, Joel D.; Titus, Albert H.; Neji, Bilel; Xu, Jing, Microfabricated calorimeter for RF power measurement.
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