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Method for producing glass body and method for producing optical member for EUV lithography

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C03B-019/14
출원번호 US-0169459 (2011-06-27)
등록번호 US-8567214 (2013-10-29)
우선권정보 JP-2010-146549 (2010-06-28)
발명자 / 주소
  • Miyasaka, Junko
  • Koike, Akio
  • Ogawa, Tomonori
  • Kawagishi, Masahiro
출원인 / 주소
  • Asahi Glass Company, Limited
대리인 / 주소
    Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 18

초록

The present invention relates to a method for producing a glass body containing: hydrolyzing a silicon compound and a compound containing a metal serving as a dopant, in a flame projected from a burner to form glass fine particles; and depositing and growing the formed glass fine particles on a base

대표청구항

1. A method for producing a glass body, the method comprising: feeding a raw material mixed gas through a central nozzle (A) positioned in a central portion of a burner, the raw material mixed gas comprising a gas of a silicon compound, a gas of a compound comprising a metal dopant, and a combustibl

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Kawazoe Hideyo (Ichihara JPX) Koguchi Makoto (Ichihara JPX) Orimo Katsumi (Chiba JPX), Burner for producing glass fine particles and method of making glass.
  2. Enomoto, Tadashi; Ohga, Yuichi; Akaike, Nobuya; Aikawa, Haruhiko; Matsuo, Takashi; Nakamura, Motonori, Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body.
  3. Monroe Douglas W. (Newtown Township ; Bucks County PA) Wei Chenkou (East Windsor Township ; Mercer County NJ), Fabrication of lightguide soot preforms.
  4. Takimoto Hiroaki (Yokohama JPX) Tsuchiya Ichiro (Yokohama JPX), Gas reaction apparatus and multi-wall pipe type burner therefor.
  5. Huailiang Wei ; Lisa A. Moore ; Jeffery L. Blackwell ; Daniel W. Hawtof, Method and apparatus for making multi-component glass soot.
  6. Roba,Giacomo Stefano; Nutini,Massimo, Method for manufacturing optical fiber preforms.
  7. Roba,Giacomo Stefano; Nutini,Massimo, Method for manufacturing optical fibre preforms.
  8. Andrejco Matthew J. (North Hanover Township ; Burlington County NJ) Potkay Eugene (Hamilton Township ; Mercer County NJ), Method of fabricating a lightguide fiber.
  9. Suto Shoichi (Mito JPX) Hanawa Fumiaki (Mito JPX) Kawachi Masao (Mito JPX) Edahiro Takao (Mito JPX) Nakahara Motohiro (Mito JPX), Method of fabricating multi-mode optical fiber preforms.
  10. Cain Michael B. (Corning NY) Desorice Robert B. (Corning NY) Kiefer William J. (Horseheads NY) Powers Dale R. (Painted Post NY), Method of using precision burners for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds.
  11. Suda Hiroyuki (Mito JPX) Shibata Shuichi (Mito JPX) Nakahara Motohiro (Mito JPX), Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform.
  12. Suda Hiroyuki (Mito JPX) Shibata Shuichi (Mito JPX) Nakahara Motohiro (Mito JPX), Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform.
  13. Cain Michael B. ; Desorice Robert B. ; Kiefer William J. ; Powers Dale R., Precision burners for oxidizing halide-free silicon-containing compounds.
  14. Edahiro Takao (Mito JPX) Tanaka Gotaro (Kanagawa JPX) Kuwahara Toru (Kanagawa JPX) Yoshida Masaaki (Kanagawa JPX), Process for producing high-purity silica glass.
  15. Matsuo, Koji; Otsuka, Hisatoshi; Shirota, Kazuo, Synthetic quartz glass and production process.
  16. Fanucci Ronald E. (Hamilton Township ; Mercer County NJ) Yuen Maria J. (Rocky Hill Township ; Somerset County NJ), Technique for fabricating single mode lightguide soot-forms.
  17. Maida, Shigeru; Yamada, Motoyuki, Titania-doped quartz glass and making method, EUV lithographic member and photomask substrate.
  18. Mikami Masatoshi (Ichihara JPX) Matsubara Kunihiro (Ichihara JPX), Torch for fabricating optical fiber preform.
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