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Substrate processing apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/57
  • B65D-085/62
출원번호 US-0562818 (2009-09-18)
등록번호 US-8585030 (2013-11-19)
우선권정보 JP-2008-250343 (2008-09-29)
발명자 / 주소
  • Nakashima, Mikio
출원인 / 주소
  • Tokyo Electron Limited
대리인 / 주소
    Abelman, Frayne & Schwab
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 38

초록

Disclosed is a substrate processing apparatus which can inhibit the occurrence of spots, such as watermarks, by reducing the remaining of the liquid that has been used for liquid treatment, inhibit the turn-over of the wafer, and improve throughput. In the disclosed substrate processing apparatus in

대표청구항

1. A substrate processing apparatus that includes a carrying means to carry a plurality of substrates while vertically holding the plurality of substrates with a plurality of holders, at least one of the plurality of holders comprising: a holding groove part including a roughly V-shaped holding groo

이 특허에 인용된 특허 (38)

  1. Gallagher Gary M. (440F Autum Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906) Wiseman Brian S. (2812 Dublin Blvd. Colorado Springs CO 80906) Wittman Boyd C. (2707 Northridge Dr. Colorado Springs CO 80918), 150 mm wafer cassette for use on 200 mm semi standard wafer handling equipment.
  2. Shindo Naoki,JPX ; Kitahara Shigenori,JPX ; Toshima Takayuki,JPX ; Yokomizo Kenji, Apparatus and method for washing substrates.
  3. Schmidt Philip R. ; Seilkop Jon ; Spohr Craig, Apparatus for cleaning semiconductor wafers.
  4. Kakizaki Takeyoshi (Houya JPX), Basket for processing thin plates.
  5. Lee Steven N. (Irvine CA), Boat for wafer processing.
  6. Armstrong Richard J. (Phoenix AZ), Cage-type wafer carrier and method.
  7. Gados, Glenn A.; Coe, Matthew, Carrier for semiconductor wafers.
  8. Nishikiori Kazuhiko,JPX ; Hirano Hiroshi,JPX ; Kawasumi Taiki,JPX, Disc holder.
  9. Craft Charles W. (Apple Creek OH) Wolff Stacy L. (Akron OH), Dish rack.
  10. Whalen Thomas J., Disk cassette.
  11. Mortensen Roger L. (Victoria MN), Disk processing cassette.
  12. Bay Steven T. (San Jose CA) Prince Dan (Irvine CA), Distributed source assembly.
  13. Mohlenkamp Michael J. (University Heights OH) Babuder Gerald A. (Mentor OH) Jobling Peter A. (Mentor OH) Conover Charles E. (Middlefield OH), Gasket container and assembly tool.
  14. Mckee ; IV Robert E., Handle for wafer carrier and docking station.
  15. Dressen Larry G. (Waconia MN), Low profile disk carrier.
  16. Hachtmann,Bruce, Memory disk shipping container with improved contaminant control.
  17. Shindo Naoki,JPX ; Kitahara Shigenori,JPX ; Toshima Takayuki,JPX ; Yokomizo Kenji, Method for washing substrates.
  18. McConnell Christopher F. (Two Soldiers Field Park Boston MA 02163), Method of treating wafers with fluid.
  19. Pfeiffer Ken ; Verdict Greg, Modular substrate cassette.
  20. Kudlich Walter (Burghausen DE) Herrmann Hans (Burghausen DE) Lechner Gunther (Burghausen DE) Berger Kurt (Burghausen DE), Packaging unit for semiconductor discs.
  21. Ali Terry ; Ali Christopher ; Ali Phillip Glenn, Rack for supporting abrasive discs or the like.
  22. Quernemoen Daniel R. (Chaska MN), Reinforced carrier with embedded rigid insert.
  23. Johnson Douglas M. (Carver MN), Reinforced wafer basket.
  24. Kos Robert D. (Victoria MN), Robotic accessible wafer shipper assembly.
  25. Shimizu Yuji,JPX, Semiconductor wafer carrier.
  26. Takashima Chikayuki,JPX, Semiconductor wafer carrier.
  27. Tsai, Yu-Pin; Pao, Chih-Min; Tseng, Ching-Feng; Chu, Fu-Tang, Semiconductor wafer cassette.
  28. Hooshang Jahani ; Scott R. Bruner ; Peter F. Smith, Substrate fixturing device.
  29. Fujikawa Kazunori,JPX ; Yasui Kenji,JPX ; Nishizawa Hisao,JPX, Substrate holder.
  30. Nishi Mitsuo (Kurume JPX) Miyazaki Takanori (Kumamoto JPX) Mukai Eiichi (Kurume JPX) Kamikawa Yuuji (Uto JPX) Tanaka Hiroshi (Kurume JPX), Substrate washing device.
  31. Yokomizo Kenji (Oonojo JPX) Tashima Chihaya (Kumamoto JPX) Mukai Eiichi (Kurume JPX) Honda Yoshiyuki (Saga JPX) Hamamura Naohiko (Chikushino JPX) Murakami Shinya (Kumamoto JPX) Chouno Yasuhiro (Tosu , Substrates-washing apparatus.
  32. Hasegawa Norio,JPX, Support jig for thin circular objects.
  33. Benzing, David W.; Luebker, Christopher A., Wafer boat and boat holder.
  34. Milliren Guy L. (Mound MN), Wafer carrier.
  35. Kos Robert D. (Victoria MN), Wafer cushion for shippers.
  36. Nyseth David L. (Plymouth MN), Wafer cushions for wafer shipper.
  37. Nyseth David L. (Plymouth MN), Wafer shipper and package.
  38. Han Suk-Bin,KRX, Wafer wet processing device.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Hashimoto, Yasuhiko; Ono, Shigeki; Bando, Kenji, Plate-shaped member storage rack, plate-shaped member transfer facility, and plate-shaped member storing method.
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