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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0563275 (2012-07-31) |
등록번호 | US-8591095 (2013-11-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 62 |
Systems for controlling fluids in semiconductor processing systems are disclosed. The disclosed systems comprise a chemical blender, a reclaim tank, a dispense system, two chemical monitors, a controller, and a reclamation line in fluid communication with an outlet of the process station and coupled
1. A system, comprising: a chemical blender for mixing chemical compounds to produce a solution;a reclaim tank for mixing the solution from the chemical blender and a reclaimed solution from a process station;a dispense system for dispensing a mixed solution to the process station;a first chemical m
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