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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0224719 (2011-09-02) |
등록번호 | US-8611007 (2013-12-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 347 |
A fine pitch wire grid polarizer can have a pitch of less than 80 nanometers and a protective layer on the wires, by anisotropically etching the wire grid polarizer to form two parallel, elongated rods substantially located at corners where the wires contacted the substrate. The rods can be polarizi
1. A method of making a wire grid polarizer, the method comprising: a. obtaining a wire grid polarizer having an array of parallel, elongated polarizing wires disposed on a substrate;b. forming a protective layer at a top surface and sides of the wires;c. anisotropically etching the wire grid polari
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