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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0877191 (2007-10-23) |
등록번호 | US-8612198 (2013-12-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 89 |
Software for controlling processes in a heterogeneous semiconductor manufacturing environment may include a wafer-centric database, a real-time scheduler using a neural network, and a graphical user interface displaying simulated operation of the system. These features may be employed alone or in co
1. A method comprising: providing a semiconductor handling system including at least one robot and a plurality of process chambers;controlling the operation of the handling system with a software controller configured for employing a neural network and a finite state machine scheduler that provides
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