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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0869171 (2010-08-26) |
등록번호 | US-8616821 (2013-12-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 18 |
The present disclosure provides a system and method for processing a semiconductor substrate wherein a substrate is received at a load lock interface. The substrate is transferred from the load lock interface to a process module using a first module configured for unprocessed substrates. A manufactu
1. A system comprising: a central transfer chamber;a plurality of process modules disposed proximate to the central transfer chamber wherein each of the plurality of process modules is operable to perform a semiconductor device fabrication process;a load lock chamber connected to the central transfe
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