최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0038470 (2011-03-02) |
등록번호 | US-8618625 (2013-12-31) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
A planar, waveguide-based silicon Schottky barrier photodetector includes a third terminal in the form of a field plate to improve the responsivity of the detector. Preferably, a silicide used for the detection region is formed during a processing step where other silicide contact regions are being
1. A silicon-based infrared photodetector integrated on a silicon-on-insulator (SOI) substrate with an optical waveguide, the SOI substrate including a planar SOT surface layer, the silicon-based infrared photodetector comprising: a metallic strip disposed over a portion of the planar SOI surface la
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.