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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0442369 (2007-09-21) |
등록번호 | US-8633787 (2014-01-21) |
국제출원번호 | PCT/US2007/020501 (2007-09-21) |
§371/§102 date | 20100812 (20100812) |
국제공개번호 | WO2008/039378 (2008-04-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13 |
A microelectromechanical structure (MEMS) device includes a secondary MEMS element displaceably coupled to a substrate. A primary MEMS element is displaceably coupled to the secondary MEMS element and has a resonant frequency substantially equal to the secondary MEMS element and has a much larger di
1. A microelectromechanical structure (MEMS) device comprising: a secondary cantilever MEMS element displaceably coupled to a substrate; anda primary cantilever MEMS element displaceably coupled to the secondary cantilever MEMS element and having a resonant frequency substantially equal to the secon
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