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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0050630 (2013-10-10) |
등록번호 | US-8648304 (2014-02-11) |
우선권정보 | JP-2010-286334 (2010-12-22); JP-2010-289491 (2010-12-27); JP-2010-289492 (2010-12-27); JP-2011-012060 (2011-01-24); JP-2011-036886 (2011-02-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 3 |
A thermal detector manufacturing method includes: forming a sacrificial layer on a structure including an insulating layer; forming a support member on the sacrificial layer; forming on the support member a heat-detecting element; forming a first light-absorbing layer so as to cover the heat-detecti
1. A thermal detector manufacturing method comprising: forming a structure including an insulating layer on a surface of a substrate;forming a sacrificial layer on the structure including the insulating layer;forming a support member on the sacrificial layer;forming on the support member a heat-dete
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