[특허]Incoherent cavity ringdown spectroscopy gas analyzer coupled with periodic chemical scrubbing

Los Gatos Research

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Incoherent cavity ringdown spectroscopy gas analyzer coupled with periodic chemical scrubbing

특허상세정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-021/00
미국특허분류(USC)	356/437;
출원번호	US-0347440 (2012-01-10)
등록번호	US-8654334 (2014-02-18)
발명자 / 주소	Gupta, Manish Leen, J. Brian Baer, Douglas Steven
출원인 / 주소	Los Gatos Research
대리인 / 주소	Law Offices of Thomas Schneck
인용정보	피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 2

초록
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An incoherent cavity ringdown spectroscopy (iCRDS) gas analyzer is provided with a gas flow path to introduce a sample gas into an enclosed volume bounded by a pair of mirrors defining an optical cavity. A pulsed broadband incoherent light source with a wavelength band that coincides with an absorption band of a specified gas species to be detected (e.g., NO2 or SO3) directs pulses of light into the optical cavity, while a photodetector is positioned to detect light exiting the cavity. A scrubber in an alternate flow path into the enclosed volume periodically scrubs the sample gas of the specified gas species. A processor determines the concentration of the specified gas species from the ringdown decay time of the photodetector measurement signals, with the periodic scrubbing of the sample gas providing a calibration reference from its slower decay time.

대표
청구항
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1. A method of measuring a concentration of a specified gas species within a gaseous sample, comprising: inputting a gaseous sample into an optical cavity;directing pulses of incoherent light of a specified wavelength band off-axis into the optical cavity, the wavelength band of the incoherent light coinciding with an absorption band of a gas species to be measured;detecting an intensity of light output from the optical cavity and measuring a decay time of that intensity, the decay time corresponding to a concentration of the gas species in the gaseous sample; andperiodically scrubbing the gaseous sample to remove any of the specified gas species from the sample and inputting the scrubbed sample into the optical cavity, a decay time of the intensity of light output from the cavity with the scrubbed gas forming a calibration reference for determining the concentration of the gas species in the gaseous sample. 2. The method as in claim 1, wherein the gaseous sample is taken from an ambient atmosphere. 3. The method as in claim 1, wherein the specified gas species is nitrogen dioxide (NO2). 4. The method as in claim 3, wherein the wavelength band of the incoherent light includes a wavelength of 404 nm. 5. The method as in claim 1, wherein the specified gas species is sulfur dioxide (SO2). 6. The method as in claim 5, wherein the wavelength band of the incoherent light includes a wavelength of 308 nm. 7. The method as in claim 1, wherein the pulses of incoherent light are provided by a light emitting diode (LED). 8. The method as in claim 1, wherein the periodic scrubbing of the gaseous sample is performed using a chemical scrubber. 9. A gas analyzer, comprising: an enclosed volume bounded by a pair mirrors defining an optical cavity therebetween;a gas flow path coupled to the enclosed volume to introduce a sample gas into the optical cavity;a pulsed broadband incoherent light source with a wavelength band coinciding with a specified gas species to be detected, the light source positioned to direct pulses of light into the optical cavity;a photodetector positioned to detect light exiting the optical cavity;a scrubber in an alternate flow path between the gas flow path and the optical cavity configured to periodically scrub the sample gas of the specified gas species; anda processor receiving measurement signals from the photodetector both when the sample gas is supplied directly to the optical cavity and when it is periodically scrubbed in the scrubber, the processor determining a concentration of the specified gas species from a ringdown decay time of the photodetector measurement signals. 10. The gas analyzer as in claim 9, wherein the specified gas species is nitrogen dioxide (NO2) and the light source emits light in a band that includes a wavelength of 404 nm light. 11. The gas analyzer as in claim 9, wherein the specified gas species is sulfur dioxide (SO2) and the light source emits light in a band that includes a wavelength of 308 nm. 12. The gas analyzer as in claim 9, wherein the light source is a light emitting diode. 13. The gas analyzer as in claim 9, wherein the photodetector is a photomultiplier tube.

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