[특허]Process and apparatuses for preparing ultrapure silicon

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Process and apparatuses for preparing ultrapure silicon 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C01B-033/02
출원번호	US-0131158 (2009-11-27)
등록번호	US-8673255 (2014-03-18)
우선권정보	DE-10 2008 059 408 (2008-11-27)
국제출원번호	PCT/EP2009/008457 (2009-11-27)
§371/§102 date	20110919 (20110919)
국제공개번호	WO2010/060630 (2010-06-03)
발명자 / 주소	Petrik, Adolf Schmid, Christian Hahn, Jochem
출원인 / 주소	Schmid Silicon Technology GmbH
대리인 / 주소	DLA Piper LLP (US)
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 16

초록

A process for preparing high-purity silicon by thermal decomposition of a silicon compound includes decomposing the silicon compound by mixing with a carrier gas at a temperature at which the silicon compound is thermally decomposed.

대표청구항 ▼

1. A process of preparing high-purity silicon by thermal decomposition of a silicon compound comprising decomposing the silicon compound by mixing with a carrier gas at a temperature at which the silicon compound is thermally decomposed, wherein energy required for decomposition of the silicon compound is exclusively provided via the carrier gas. 2. A process of preparing high-purity silicon by thermal decomposition of a silicon compound comprising decomposing the silicon compound by mixing with a carrier gas at a temperature at which the silicon compound is thermally decomposed, wherein the carrier gas, before being mixed with the silicon compound, is heated in a plasma generator. 3. A process of preparing high-purity silicon by thermal decomposition of a silicon compound comprising: (a) decomposing the silicon compound by mixing with a carrier gas at a temperature at which the silicon compound is thermally decomposed, wherein a mixture comprising the silicon compound, the carrier gas, silicon vapor and gaseous decomposition products is obtained, and(b) passing the mixture into a reactor, where the silicon vapor is condensed. 4. The process according to claim 3, wherein the mixture is introduced into the reactor at a flow rate of 200 m/sec to 400 m/sec.

이 특허에 인용된 특허 (16)

Levin Harry (19831 Friar St. Woodland Hills CA 91367), Apparatus for making molten silicon.
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Mazelsky ; Robert ; Fey ; Maurice G. ; Harvey ; Francis J., Arc heater method for the production of single crystal silicon.
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Harvey ; II ; Francis J., Arc heater production of silicon involving a hydrogen reduction.
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Gautreaux Marcelian F. (Baton Rouge LA) Allen Robert H. (Baton Rouge LA), Fluid bed process for producing polysilicon.
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Hsu George (La Crescenta CA) Levin Harry (Woodland Hills CA) Hogle Richard A. (Arcadia CA) Praturi Ananda (Monrovia CA) Lutwack Ralph (Sunland CA), Fluidized bed silicon deposition from silane.
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Hsu George C. (La Crescenta CA) Levin Harry (Woodland Hills CA) Hogle Richard A. (Arcadia CA) Praturi Ananda (Monrovia CA) Lutwack Ralph (Sunland CA), Fluidized bed silicon deposition from silane.
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Breneman William C. (East Amherst NY), High purity silane and silicon production.
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Harvey ; II ; Francis J. ; Fey ; Maurice G., High purity silicon production by arc heater reduction of silicon intermediates.
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Arcella Frank G. (Bethel Park PA) Wolf Charles B. (Irwin PA) Fey Maurice G. (Pittsburgh PA), Liquid silicon casting control mechanism.
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Stephen M Lord, Method for improving the efficiency of a silicon purification process.
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Stephen M Lord, Method of improving the efficiency of a silicon purification process.
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Gautreaux Marcelian F. (Baton Rouge LA) Allen Robert H. (Baton Rouge LA), Polysilicon produced by a fluid bed process.
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Gutsche Henry W. (St. Louis MO), Process for increasing silicon thermal decomposition deposition rates from silicon halide-hydrogen reaction gases.
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Coleman Larry M. (Tonawanda NY), Process for the production of ultrahigh purity silane with recycle from separation columns.
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Jacubert Serge (Viroflay FRX) Boudot Bernard (Paris FRX) Nataf Philippe (Paris FRX), Production of shaped articles of ultra-pure silicon.
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Frosch Robert A. Administrator of the National Aeronautics and Space Administation ; with respect to an invention of ( Woodland Hills CA) Levin Harry (Woodland Hills CA) Ford Larry B. (Pasadena CA), Thermal reactor.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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