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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0766913 (2010-04-25) |
등록번호 | US-8674606 (2014-03-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 26 |
Systems, methods and apparatus for reducing instabilities in a plasma-based processing system are disclosed. An exemplary method includes applying power to a plasma with a power amplifier; determining whether low frequency instability oscillations are present or high frequency instability oscillatio
1. A method for reducing instabilities in a plasma-based processing system, the method comprising: applying power to a plasma with a power amplifier;obtaining samples indicative of an impedance of the plasma;determining a frequency of instability oscillations, resulting from plasma-power amplifier i
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