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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0771343 (2013-02-20) |
등록번호 | US-8674618 (2014-03-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 3 |
A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of
1. A curing apparatus comprising: a conveyor system for transporting a layer of thin film mounted on a low-temperature substrate;a strobe head having a flash lamp for providing a plurality of electromagnetic pulses to said layer of thin film;a strobe control module for controlling power, duration an
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